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優(yōu)諾德檢測（上海）有限公司

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详细说明

蔡司鎢燈絲電子顯微鏡

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商品說明

掃描電子顯微鏡
SEM3100

SEM3100具有出色的成像質(zhì)量和豐富的擴(kuò)展性，將鎢燈絲掃描電子顯微鏡的可用性、易用性發(fā)揮到極致。分辨率可達(dá)3 nm，超大樣品倉，可容納最大直徑為370 mm的樣品，以及諸多細(xì)節(jié)功能設(shè)計(jì)和特色功能，助您在顯微成像的世界中盡情探索。


商品參數(shù)

高性能高指標(biāo)

SEM3100是一款高性能的掃描電子顯微鏡，擁有超高的分辨率和出色的成像質(zhì)量。放大倍率連續(xù)可調(diào)，在不同的視場范圍下均可得到高亮度的清晰圖像。大景深，成像富有立體感。配備的超大樣品倉和低電壓模式，極大地?cái)U(kuò)展了SEM3100的應(yīng)用范圍。

分辨率

3 nm @ 30kV, SE

放大倍率

1~300,000 x (底片倍率)
1~1000,000 x (屏幕倍率)

圖像保存

最大像素，6144 x 4096

加速電壓

1 kV ~ 30 kV

最大樣品尺寸

直徑370 mm，高73 mm

出色的成像效果

錫球

錫球

乙酰檸檬酸三乙酯

乙酰檸檬酸三乙酯

鈷酸鋰

鈷酸鋰

低電壓

毛發(fā)，加速電壓3 kV

毛發(fā)，加速電壓3 kV

滌綸表面，加速電壓1 kV

滌綸表面，加速電壓1 kV

纖維管表面缺陷，加速電壓1 kV

纖維管表面缺陷，加速電壓1 kV

大視場、大景深、超大樣品倉

超大樣品倉

超大樣品倉

螺絲釘

螺絲釘


豐富的擴(kuò)展性

掃描電子顯微鏡不只用于表面形貌的觀察，還可以進(jìn)行樣品表面的微區(qū)成分分析。SEM3100擁有超大的樣品倉，接口豐富，除支持常規(guī)的二次電子探測器（ETD）、背散射電子探測器（BSED）、能譜儀（EDS）外，也預(yù)留了諸多接口，諸如電子背散射衍射（EBSD）、波譜儀（WDS）、陰極熒光（CL）等探測器都可以在SEM3100上進(jìn)行集成。

背散射探測器

二次電子成像和背散射成像對比。背散射像下，樣品的荷電效應(yīng)明顯減弱，并且具有很好的成分襯度，適合進(jìn)行成分觀察。

能譜分析

水泥建筑材料SE和EDS分析結(jié)果，加速電壓15 kV
*微量Au元素為噴金后的鍍層

特色功能，更高的效率和更好的性能

光學(xué)導(dǎo)航

光學(xué)導(dǎo)航

SEM3100標(biāo)配的倉內(nèi)攝像頭可拍攝高清樣品臺(tái)照片，助您快速定位樣品。

旋鈕控制板和鼠標(biāo)手勢

旋鈕控制板和鼠標(biāo)手勢

可通過旋鈕控制板或鼠標(biāo)滾輪/手勢快速調(diào)節(jié)聚焦和像散等參數(shù)，極大地提高成像效率。

動(dòng)態(tài)像散動(dòng)態(tài)圖
動(dòng)態(tài)像散結(jié)果圖

動(dòng)態(tài)像散

直觀反映像散程度，通過鼠標(biāo)點(diǎn)擊即可快速調(diào)節(jié)像散至最佳。

電平移動(dòng)態(tài)圖
電平移-結(jié)果圖結(jié)果圖

快速調(diào)節(jié)圖像旋轉(zhuǎn)

拖動(dòng)一條線，圖像立刻“擺正角度”。

細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)，追求最佳的易用性

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人性化的軟件設(shè)計(jì)

所有控制功能集成在一個(gè)軟件界面上，純中文的操作界面，功能設(shè)計(jì)簡單易懂。無論是否有經(jīng)驗(yàn)的用戶，簡單的了解后都可以快速上手。

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30分鐘自動(dòng)休眠

30分鐘無操作，SEM3100會(huì)自動(dòng)進(jìn)入休眠模式，停止掃描并將電子束關(guān)閉，減少燈絲損耗，延長使用壽命。

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換樣方便

拉開式倉門，給換樣操作留出寬闊的空間。也為倉內(nèi)清潔維護(hù)提供了方便。

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面板功能按鈕

機(jī)身正面設(shè)計(jì)的啟動(dòng)和放氣按鈕組合可快速換樣，拍樣完成后按下待機(jī)按鈕可一鍵待機(jī)！

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優(yōu)中心樣品臺(tái)和真空電機(jī)

支持優(yōu)中心傾斜①樣品始終處于電子束下方，不同傾斜角度下，可獲取更豐富的形貌和成分信息。同時(shí)倉內(nèi)真空電機(jī)②簡化了傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，減少了真空漏氣可能性。

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燈絲狀態(tài)自動(dòng)監(jiān)測

自動(dòng)檢測燈絲使用時(shí)間，以及燈絲工作狀態(tài)。讓您測樣和實(shí)驗(yàn)安排“心中有數(shù)”。

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防碰撞技術(shù)

采取多維度的防碰撞方案：1. 手動(dòng)輸入樣品高度，精準(zhǔn)控制樣品與物鏡下端距離，防止發(fā)生碰撞；2. 基于圖像識(shí)別和動(dòng)態(tài)捕捉技術(shù)，運(yùn)動(dòng)過程中對倉內(nèi)的實(shí)時(shí)畫面進(jìn)行監(jiān)測；3. 樣品臺(tái)硬件防碰撞，可在碰撞一瞬間停止電機(jī)，減少碰撞損傷。

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三級(jí)減震

創(chuàng)新性的三級(jí)減震設(shè)計(jì)，可較好的過濾來自地面?zhèn)鱽淼牡皖l震動(dòng)。同時(shí)，通過良好的工程設(shè)計(jì)，大幅減少了SEM3100自身運(yùn)行產(chǎn)生的震動(dòng)。

備注：
1、僅選配的五軸樣品臺(tái)支持; 2、標(biāo)配真空電機(jī)。

SEM3100應(yīng)用案例

電極箔截面

電極箔截面

三元正極

三元正極

鈷酸鋰

鈷酸鋰

摻鋁四鈷

摻鋁四鈷

鈦金屬

鈦金屬

硅碳負(fù)極材料

硅碳負(fù)極材料

聚偏氟乙烯1

聚偏氟乙烯1

聚偏氟乙烯2

聚偏氟乙烯2

微流控芯片1

微流控芯片1

微流控芯片2

微流控芯片2

氧化鋁

氧化鋁

多孔氮化硼陶瓷

多孔氮化硼陶瓷

泡沫鎳基底

泡沫鎳基底

表面氫氧化物附著

表面氫氧化物附著

濾紙

濾紙

碳材料

碳材料

聚苯乙烯微球

聚苯乙烯微球

纖維素管截面

纖維素管截面

微型探針表面

微型探針表面

紡絲

紡絲

參數(shù)

電子光學(xué)系統(tǒng)
分辨率
3 nm @ 30 kV
放大倍率
1~300,000 x (底片倍率)
1~1000,000 x (屏幕倍率)
加速電壓
1 kV~30 kV
電子槍類型
預(yù)對中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍
成像系統(tǒng)
探測器（標(biāo)配）
二次電子探測器 (ETD)
探測器（選配）
背散射電子探測器、能譜儀EDS等
圖像尺寸
≤ 6144 x 4096 像素
圖像保存格式
TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室
控制方式
全自動(dòng)閥
渦輪分子泵
240 L/S
機(jī)械泵
12 m3/h(50 Hz)
攝像頭
光學(xué)導(dǎo)航
樣品倉內(nèi)監(jiān)控
樣品室真空度
高真空下優(yōu)于9 X 10-4 Pa
樣品臺(tái)配置
三軸自動(dòng)(標(biāo)配)
五軸自動(dòng)(選配)
行程
X: 100 mm
X: 115 mm
Y: 100 mm
Y: 115 mm
Z: 60 mm
Z: 65 mm
/
R: 360°
/
T: -10°~ +70°
最大樣品尺寸
直徑：370 mm, 高：68 mm
直徑：370 mm, 高：73 mm
軟件
語言
中文
操作系統(tǒng)
Windows
導(dǎo)航
光學(xué)導(dǎo)航，手勢快捷導(dǎo)航
自動(dòng)功能
自動(dòng)亮度對比度，自動(dòng)聚焦
特色功能
動(dòng)態(tài)像散
安裝要求
房間
長 ≥ 3000 mm，寬 ≥ 4000 mm，高 ≥ 2300 mm
門寬
寬 ≥ 900 mm，高 ≥ 2000 mm
溫度
20 ~ 25 ℃
濕度
≤ 50%
噪聲
≤ 45dB
電氣參數(shù)
電源AC 220 V(±10 %)，50 Hz,2 kVA
地線
獨(dú)立地線一條，小于4 Ω
交流磁場
< 100 nT
產(chǎn)品線稿圖



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