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優(yōu)諾德檢測(上海)有限公司

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详细说明

蔡司場發(fā)電子顯微鏡

SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。

先進(jìn)的鏡筒設(shè)計(jì),高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無論經(jīng)驗(yàn)是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務(wù)。


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商品說明

產(chǎn)品特點(diǎn)

01

分辨率高,低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像

02

電磁復(fù)合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品

03

高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應(yīng),低電壓分辨率得到保證

04

電子光路無交叉,有效的降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力

05

水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性

06

磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌,自動(dòng)切換光闌孔,無需機(jī)械調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換


商品參數(shù)


電子槍類型

高亮度肖特基
場發(fā)射電子槍

分辨率

1 nm @ 15 kV
1.6 nm @ 1 kV

放大倍率

1 ~ 1,000,000 x

加速電壓

20 V ~ 30 kV

樣品臺(tái)

五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)


應(yīng)用領(lǐng)域

鋰電芯片半導(dǎo)體陶瓷建筑材料電子元器件化學(xué)化工生物醫(yī)療環(huán)保金屬材料更多領(lǐng)域


產(chǎn)品參數(shù)

電子光學(xué)系統(tǒng)分辨率1 nm @ 15 kV

1.6 nm @ 1 kV

放大倍率1 x~1,000,000 x
加速電壓20 V~30 kV
電子槍類型高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
磁場屏蔽被動(dòng)式磁屏蔽
主動(dòng)式磁屏蔽(選配)
成像系統(tǒng)探測器鏡筒內(nèi)高角度電子探測器
側(cè)向二次電子探測器
擴(kuò)展背散射電子探測器
能譜儀(EDS)
背散射衍射(EBSD)
電子束感生電流(EBIC)
陰極熒光(CL)
圖像保存格式TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室真空控制方式全自動(dòng)控制,無油真空系統(tǒng)
攝像頭雙攝像頭
(光學(xué)導(dǎo)航 + 樣品倉內(nèi)監(jiān)控)
樣品臺(tái)配置五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)
行程X: 120 mm
Y: 115 mm
Z: 48 mm(大行程可選配)
R: 360°
T: -10°~ +75°
減震主副減震支架
雙氣室隔膜式減震器
主動(dòng)式減震器(選配)
軟件語言中文
操作系統(tǒng)Windows
導(dǎo)航光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
自動(dòng)功能自動(dòng)亮度對比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散


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